테스트 대상 제품에 적용되는 작동 모드와 스트레스 조건은 실험실과 고객 간에 합의되며, 일반적으로 테스트 대상에서 입자 방출을 증가시키는 건물에 존재하는 진동이 테스트 중에 도입됩니다(구조 매개 소음 30-50 Hz).

테스트 환경은 ISO 2 클래스 요구 사항을 충족합니다(테스트 제품이 설치될 클린룸 또는 환경보다 최소 한 단계 높은 ISO 클래스여야 함);

임계점(고입자 방출 지점)은 레이저 입자 계수기에 연결된 샘플링 프로브로 제품 전체를 철저히 스캔한 후 결정됩니다.

샘플링 시간은 100분이며, 최종 (분류) 측정 시 100개의 개별 샘플을 채취합니다.

측정된 입자 농도는 통계적으로 처리되어 ISO 14644-1에 명시된 각 분류 한계와 비교됩니다.

제품의 클린룸 적합성은 다음과 같은 방식으로 명시됩니다: “ISO 14644-14에 따라 대표 작동 모드를 포함하고 합의된 평가에 따르면 장비 Z는 ISO 클래스 X(Y µm)의 클린룸 내에서 사용하기에 클린룸 적합성이 있는 것으로 나타났습니다.”; 여기서, X – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – – : X는 ISO 14644-1 클래스 번호, Y는 측정된 입자 크기 범위, Z는 테스트한 장비의 고유 식별(예: 유형, 일련 번호, 제조업체)입니다.